钴靶材的加工方法专利登记公告

专利名称：钴靶材的加工方法

摘要：一种钴靶材的加工方法，包括：提供钴靶材；对所述钴靶材表面进行切削；对切削后的钴靶材表面进行磨削，所述磨削采用金刚石砂轮或立方氮化硼砂轮，所述金刚石砂轮的砂轮线速为15米/秒～35米/秒、立方氮化硼砂轮的砂轮线速为20米/秒～40米/秒，磨削吃刀量为0.005～1毫米。本发明提供的钴靶材的加工方法，使得经过切削后的钴靶材表面的粗糙度进一步的降低，获得了符合溅射需求的钴靶材。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110456456.5

专利申请（专利权）人：宁波江丰电子材料有限公司

专利发明（设计）人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;陈玉蓉

主权项：一种钴靶材的加工方法，其特征在于，包括：提供钴靶材；对所述钴靶材表面进行切削；对切削后的钴靶材表面进行磨削，所述磨削采用金刚石砂轮或立方氮化硼砂轮，所述金刚石砂轮的砂轮线速为15米/秒～35米/秒、立方氮化硼砂轮的砂轮线速为20米/秒～40米/秒，磨削吃刀量为0.005～1毫米。

专利地区：浙江