升降抖动装置专利登记公告

专利名称：升降抖动装置

摘要：本发明公开了一种升降抖动装置，其特征在于，包括：挂篮支架；抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；提升驱动装置，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。本发明中的升降抖动装置，既可以使支架上下抖动，蚀刻时，使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末，提高蚀刻质量；清洗时抖动，可提高清洗效果，且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。本发明中的升降抖动装置还可以自动实现使产品上升或下降，自动将产品放入蚀刻液或清洗水中，处理完成后自动将产品提升出液面。提升与抖动功能可相互配合，使

专利类型：发明专利

专利号：CN201110459871.6

专利申请（专利权）人：上海新阳半导体材料股份有限公司

专利发明（设计）人：王振荣;刘红兵;黄利松

主权项：升降抖动装置，其特征在于，包括：挂篮支架；抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架传动连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；提升驱动装置，提升驱动装置与挂篮支架传动连接，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。

专利地区：上海