真空系统用的真空插板阀专利登记公告
专利名称:真空系统用的真空插板阀
摘要:本发明公开一种真空系统用的真空插板阀,包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板,阀体为中空的长方体结构,阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接,阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔,阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通,阀芯设于阀体内部,驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接,下清洁盖板设于阀体底部。本真空插板阀有效克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷,其密封效果好,阀芯结构也较为稳固,不易变形;同时,本真空插板阀设于相邻两个真空室之间,即设于真空室外部,其加工及日常维护都较为方便。
专利类型:发明专利
专利号:CN201110461058.2
专利申请(专利权)人:肇庆市腾胜真空技术工程有限公司
专利发明(设计)人:朱刚劲;朱刚毅;朱文廓
主权项:真空系统用的真空插板阀,其特征在于,包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板,阀体为中空的长方体结构,阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接,阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔,阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通,阀芯设于阀体内部,驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接,下清洁盖板设于阀体底部。
专利地区:广东
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