真空室用的真空插板阀专利登记公告

专利名称：真空室用的真空插板阀

摘要：本发明公开一种真空室用的真空插板阀，包括气缸、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接；阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与气缸末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。本真空插板阀克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷，也可较好地应用于大型玻璃镀膜工艺用的真空镀膜室。同时，

专利类型：发明专利

专利号：CN201110461088.3

专利申请（专利权）人：肇庆市腾胜真空技术工程有限公司

专利发明（设计）人：朱刚劲;朱刚毅;朱文廓

主权项：真空室用的真空插板阀，其特征在于，包括驱动元件、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接。

专利地区：广东