一种低温型水系正胶剥离液及其制备方法专利登记公告

专利名称：一种低温型水系正胶剥离液及其制备方法

摘要：本发明公开了一种低温型水系正胶剥离液及其制备方法，所述低温型水系正胶剥离液包括以下重量百分比的组合物：N-甲基吡咯烷酮29％～31％；二甲基乙酰胺23.7％～27.7％；二乙二醇丁醚24％～26％；水17％～23％。本发明提供的低温型水系正胶剥离液及其制备方法，能够提高产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110461736.5

专利申请（专利权）人：江阴江化微电子材料股份有限公司

专利发明（设计）人：殷福华;季文庆;朱龙;邵勇;栾成

主权项：一种低温型水系正胶剥离液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：N?甲基吡咯烷酮????29％～31％；二甲基乙酰胺??????23.7％～27.7％；二乙二醇丁醚??????24％～26％；水????????????????17％～23％。

专利地区：江苏