用于持续沉积的设备和过程中CdTe的时间上可变的沉积速率专利登记公告

专利名称：用于持续沉积的设备和过程中CdTe的时间上可变的沉积速率

摘要：本发明名称为“用于持续沉积的设备和过程中CdTe的时间上可变的沉积速率”。一般地提供用于将升华的源材料气相沉积为光伏模块基板(14)上的薄膜的设备(100)。该设备(100)包括分发板(152)，分发板(152)设在分发管汇(124)下方以及设在输送通过设备(100)的基板(14)的上表面的水平输送面上方限定的距离处。分发板(152)限定经由其中的通道(153)的样式，该通道的样式配置成对升华的源蒸气流在第一纵向端(160)处比在第二纵向端(161)处提供更大的阻力。还提供一种用于将升华的源材料气相沉积以

专利类型：发明专利

专利号：CN201110461808.6

专利申请（专利权）人：初星太阳能公司

专利发明（设计）人：M·J·帕沃尔

主权项：一种用于将升华的源材料气相沉积为光伏模块基板(14)上的薄膜的设备(100)，所述设备(100)包括：沉积头(110)；设在所述沉积头(110)中的容器(116)，所述容器(116)配置成用于接收颗粒状源材料；设在所述容器(116)下方的加热的分发管汇(124)，所述加热的分发管汇(124)配置成将所述容器(116)加热到足够使所述容器(116)内的源材料升华的程度；以及分发板(152)，其设在所述分发管汇(124)下方以及设在输送通过所述设备(100)的基板(14)的上表面的水平输送面上方限定的距离处，

专利地区：美国