光产酸单体及其前体专利登记公告
专利名称:光产酸单体及其前体
摘要:光产酸单体及其前体。提供了一种具有式(I)的单体化合物:其中R1,R2和R3各自独立为H,F,C1-10烷基,氟取代C1-10烷基,C1-10环烷基,或氟取代C1-10环烷基,至少一个R1,R2或R3为F;n为1到10的整数;A是卤化或非卤化含C2-30烯烃的可聚合基团,以及G+为有机或无机阳离子。单体是磺内酯前体反应产物和含羧基或羟基卤化或非卤化含C2-30烯烃化合物的反应产物。聚合物包括式(I)的单体。
专利类型:发明专利
专利号:CN201110463329.8
专利申请(专利权)人:罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司
专利发明(设计)人:S·M·科利;F·J·蒂默斯;D·R·威尔逊
主权项:一种具有式(I)的化合物:其中R1,R2和R3各自独立为H,F,C1?10烷基,氟取代C1?10烷基,C1?10环烷基,或氟取代C1?10环烷基,条件是至少一个R1,R2,或R3为F;n为1到10的整数;A是卤化或非卤化含有C2?30烯烃的可聚合基团,以及G+为有机或无机阳离子。FSA00000682312500011.tif
专利地区:美国
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