用于确定对准误差的装置、设备和方法专利登记公告

专利名称：用于确定对准误差的装置、设备和方法

摘要：本发明涉及一种用于确定由于当第一基底（1）连接于第二基底（2）时第一基底（1）相对于第二基底（2）的应变和/或变形而发生的局部对准误差的装置、设备和方法，并且所述装置、设备和方法用于特别地通过晶圆中的至少一个的至少一个透明区域，借助于在晶圆的对准期间和/或之后记录的晶圆的位置图、应变图和/或应力图进行两个晶圆的对准，可选地，两个晶圆相对于彼此的相对位置特别地在原地被校正。

专利类型：发明专利

专利号：CN201180004739.4

专利申请（专利权）人：EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

专利发明（设计）人：M. 温普林格

主权项：一种装置，用于确定由于当第一基底（1）连接于第二基底（2）时所述第一基底（1）相对于所述第二基底（2）的应变和/或变形而出现的局部对准误差，所述装置具有以下特征：–?能够通过初始检测装置检测沿所述第一基底（1）的第一接触表面（1k）的应变值的第一应变图和/或沿所述第一接触表面（1k）的应力值的第一应力图，和/或–?能够通过所述检测装置检测沿第二接触表面（2k）的应变值的第二应变图和/或沿所述第二接触表面（2k）的应力值的第二应力图，以及–?评价装置，所述评价装置用于评价所述第一应变图和/或所述第二应变图和

专利地区：奥地利