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研磨垫专利登记公告


专利名称:研磨垫

摘要:本发明的目的在于提供一种研磨垫,其具有具备相分离结构的研磨层,研磨速度大,平坦化特性优良,能够抑制划痕的产生。本发明的研磨垫,具有研磨层,所述研磨垫的特征在于,所述研磨层由含有异氰酸酯封端预聚物(A)、异氰酸酯封端预聚物(B)以及增链剂的聚氨酯原料组合物的反应固化物形成,其中,所述异氰酸酯封端预聚物(A)通过使包含异氰酸酯成分和聚酯系多元醇的预聚物原料组合物(a)反应而得到,所述异氰酸酯封端预聚物(B)通过使包含异氰酸酯成分和聚醚系多元醇的预聚物原料组合物(b)反应而得到,且所述反应固化物具有相分离结构。

专利类型:发明专利

专利号:CN201180004980.7

专利申请(专利权)人:东洋橡胶工业株式会社

专利发明(设计)人:清水绅司;数野淳

主权项:一种研磨垫,具有研磨层,所述研磨垫的特征在于,所述研磨层由含有异氰酸酯封端预聚物(A)、异氰酸酯封端预聚物(B)以及增链剂的聚氨酯原料组合物的反应固化物形成,其中,所述异氰酸酯封端预聚物(A)通过使包含异氰酸酯成分和聚酯系多元醇的预聚物原料组合物(a)反应而得到,所述异氰酸酯封端预聚物(B)通过使包含异氰酸酯成分和聚醚系多元醇的预聚物原料组合物(b)反应而得到,且所述反应固化物具有相分离结构。

专利地区:日本