IDT/ ZnO/ Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签专利登记公告

专利名称：IDT/ ZnO/ Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签

摘要：本发明公开了一种IDT/ZnO/Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签，标签由端口谐振器和标签天线组成。该端口谐振器采用的是多层膜结构，可以提高标签的储存容量，增加标签的综合性能。与端口谐振器进行匹配设计了一款新型的弯折偶极子的标签天线，天线频率为2.45GHz，与传统天线相比增益和有效带宽明显增高，进而实现标签的远距离辐射。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210001750.1

专利申请（专利权）人：天津理工大学

专利发明（设计）人：杨保和;孙素娟;徐晟;李翠平

主权项：一种IDT/?ZnO/?Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签，包括单端口谐振器与标签天线，其特征在于所述单端口谐振器采用IDT/?ZnO/?Al/金刚石多层膜结构，是在硅衬底上采用微波等离子CVD法制备金刚石膜，在金刚石膜上使用电子束蒸发系统制备40nm?100nm厚度的?Al膜，再在Al膜上使用射频磁控溅射系统制备?C?轴取向的ZnO薄膜，最后在ZnO薄膜上使用电子束蒸发系统制备金属膜，再经过光刻制备出谐振器上的叉指换能器和开路反射栅；所述标签天线是弯折偶极子天线。

专利地区：天津