旋转清洗装置专利登记公告

专利名称：旋转清洗装置

摘要：本发明提供一种旋转清洗装置，即使是腔体内的位于远离管道的位置的雾也能够被运到管道侧，能够比以往高效地对腔体内进行排气。该旋转清洗装置在腔体(40)内的保持工作台(10)上保持工件(W)，在使保持工作台(10)旋转的状态下向工件(W)的上表面供给清洗液(C)，其中，通过形成于保持工作台(10)的外周侧面(12)的多个叶片(13)来在保持工作台(10)的外周周围产生沿着该外周周围的空气的气流，通过该空气的气流来将腔体(40)内的位于管道(50)相反侧的雾也引导到管道(50)侧。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210001890.9

专利申请（专利权）人：株式会社迪思科

专利发明（设计）人：大谷秀明

主权项：一种旋转清洗装置，其具有：圆盘形状的保持工作台，所述保持工作台用于保持工件；旋转部，所述旋转部使所述保持工作台以铅直方向为旋转轴旋转；腔体，所述腔体用于收纳所述保持工作台，并且所述腔体的上表面开口；以及管道，所述管道将气体从所述腔体内排出，所述旋转清洗装置的特征在于，该旋转清洗装置具有叶片，所述叶片形成于所述保持工作台的外周侧面，在通过所述旋转部使所述保持工作台旋转时，所述叶片同时旋转，并产生沿着所述保持工作台的外周周围的空气的气流以向所述管道进行引导。

专利地区：日本