一种铒镱双掺杂多晶氧化物薄膜的制备方法专利登记公告

专利名称：一种铒镱双掺杂多晶氧化物薄膜的制备方法

摘要：本发明公开的铒镱双掺杂多晶氧化物薄膜的制备方法，为一种铒镱双掺杂ErxYbyZnAl(2-x-y)O4多晶氧化物薄膜材料及其制备方法，其成分及质量百分比为铒0.9%~11.8%、镱4.8%~12.2%、锌43.6%~52%、铝32.4%~42.3%。首先制备出具有通式ErxYbyZnAl(2-x-y)的合金溅射靶，再利用直流磁控溅射技术制备出ErxYbyZnAl(2-x-y)合金薄膜，然后在高温炉氧氛围中退火制备ErxYbyZnAl(2-x-y)O4多晶氧化物薄膜；制备的铒镱双掺杂氧化物材料可以实现高的铒

专利类型：发明专利

专利号：CN201210003592.3

专利申请（专利权）人：中国矿业大学

专利发明（设计）人：贾传磊

主权项：一种铒镱双掺杂多晶氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下两大步骤：制备具有通式ErxYbyZnAl(2?x?y)的合金溅射靶，通式中0.007≤x≤0.105，0.035≤y≤0.105；x表示通式中铒（Er）元素的摩尔数，y表示镱（Yb）元素的摩尔数；其次，利用直流磁控溅射技术制备ErxYbyZnAl(2?x?y)合金薄膜，然后在高温炉氧氛围中退火制备ErxYbyZnAl(2?x?y)O4多晶氧化物薄膜；具体操作步骤如下：1）根据通式ErxYbyZnAl(2?x?y)中x、y的取值范围，任选取一组x

专利地区：江苏