锍化合物、光致产酸剂及其制备方法专利登记公告

专利名称：锍化合物、光致产酸剂及其制备方法

摘要：[化学式1]本发明涉及锍化合物、光致产酸剂及其制备方法。具体而言，本发明提供了由式(1)表示的锍化合物、光致产酸剂以及制备锍化合物的方法。在式1中，X表示供电子基团；R1和R2各自表示烷基、环烷基等；R3和R4各自表示亚芳基或亚杂芳基；R5和R6各自表示烷基、环烷基等；且A-和B-为彼此不同的阴离子。当所述锍化合物用作光致产酸剂时，其可产生均匀且优异的抗蚀图形。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210004606.3

专利申请（专利权）人：锦湖石油化学株式会社

专利发明（设计）人：朱炫相;徐东辙;尹队卿;申大铉

主权项：由下式(1)表示的锍化合物：[化学式1]其中X表示供电子基团；R1和R2各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R1和R2可与同R1键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；R3和R4各自独立地表示选自亚芳基和亚杂芳基中的任意一种；R5和R6各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R5和R6可与同R5键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；且A?和B?表示彼此不同的阴离子。FSA000006546

专利地区：韩国