一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器专利登记公告

专利名称：一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器

摘要：本发明公开了一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器，其特征在于：该器件包括用于输入光信号的输入波导（1），两个输出波导，即第一输出波导（3），第二输出波导（4），多模干涉波导（5），输入波导（1）与第一输出波导（3），第二输出波导（4）之间通过多模干涉波导（5）连接；其中，多模干涉波导（5）为锥形；单波长光信号从输入波导（1）输入，在多模干涉波导（5）区域发生多模干涉，基于多模干涉的自成像效应，输入光经过自镜像长度再生，选自镜像长度作为该器件的长度。本发明具有结构紧凑、偏振不敏感、带宽高、制作容差

专利类型：发明专利

专利号：CN201210005490.5

专利申请（专利权）人：东南大学

专利发明（设计）人：肖金标

主权项：一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器，其特征在于：该传感器包括用于输入光信号的输入波导（1），两个输出波导，即第一输出波导（3），第二输出波导（4），多模干涉波导（5），输入波导（1）与第一输出波导（3），第二输出波导（4）之间通过多模干涉波导（5）连接；其中，多模干涉波导（5）为锥形；单波长光信号从输入波导（1）输入，在多模干涉波导（5）区域发生多模干涉，基于多模干涉的自成像效应，输入光经过自镜像长度再生，选自镜像长度作为该器件的长度。

专利地区：江苏