微纳米三维接触扫描测量探头专利登记公告

专利名称：微纳米三维接触扫描测量探头

摘要：本发明公开了一种微纳米三维接触扫描测量探头，其特征是设置一测头单元是在一固定圆环的中央设置三臂悬浮片，在三臂悬浮片的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成三臂悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在三臂悬浮片一侧的中央位置处设置敏感元件测量反射镜，另一侧安装带有红宝石测球的测杆；设置一测量单元用于感测敏感元件测量反射镜的位移和二维角度。本发明能获得大量程、高精度、高灵敏度和小测力的探测效果。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210005654.4

专利申请（专利权）人：合肥工业大学

专利发明（设计）人：范光照;苗晋伟;李瑞君;龚伟;张友良;王志伟;张晴

主权项：微纳米三维接触扫描测量探头，其特征是设置：一测头单元：在一固定圆环(24)的中央设置三臂悬浮片(10)，在所述三臂悬浮片(10)的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片(25)，所述各悬臂簧片(25)的另一端与固定圆环(24)相连接，形成三臂悬浮片(10)在固定圆环(24)中的悬浮结构；在所述三臂悬浮片(10)一侧的中央位置处设置敏感元件测量反射镜(9)，另一侧安装带有红宝石测球(12)的测杆(11)；一测量单元：用于感测敏感元件测量反射镜(9)的位移和二维角度；所述测量单元的光路结构为：激光光源(1)发射出的准直光

专利地区：安徽