低温泵及真空阀装置专利登记公告

专利名称：低温泵及真空阀装置

摘要：本发明提供一种低温泵及真空阀装置，能够使真空系统以低成本实现释放过度高压的功能。低温泵(10)具备：通气阀(70)，为了将被低温板(60)排气的气体排出至低温泵容器(30)的外部而设置于低温泵容器(30)；及控制部(20)，根据压力传感器(54)的测定值判定是否相对于低温泵容器(30)的外部在内部产生正压，当判定为产生正压时开放通气阀(70)，而当判定为未产生正压时封闭通气阀(70)。通气阀(70)的闭阀力调整为，在控制部(20)封闭通气阀(70)时能够通过低温泵容器(30)内外的差压作用机械地开阀。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210009002.8

专利申请（专利权）人：住友重机械工业株式会社

专利发明（设计）人：及川健

主权项：一种低温泵，其特征在于，具备：低温板，用于通过凝结或吸附对气体进行排气；低温泵容器，用于容纳所述低温板；压力传感器，测定所述低温泵容器的内部压力；通气阀，为了将被所述低温板排气的气体排出至所述低温泵容器的外部而设置于所述低温泵容器；及控制部，根据所述压力传感器的测定值判定是否相对于所述低温泵容器的外部在内部产生正压，当判定为产生正压时开放所述通气阀，而当判定为未产生正压时封闭所述通气阀，所述通气阀的闭阀力调整为，在所述控制部封闭所述通气阀时能够通过所述低温泵容器内外的差压作用机械地开阀。

专利地区：日本