一种基于象散的样品轴向漂移补偿方法和装置专利登记公告

专利名称：一种基于象散的样品轴向漂移补偿方法和装置

摘要：本发明公开了一种基于象散的样品轴向漂移补偿方法和装置。装置包括激光器、单模光纤、准直透镜、分光棱镜、由两个焦距相同且横截面相互正交的柱面镜构成的象散处理器、显微物镜、三维纳米扫描平台、聚焦透镜、光衰减器、光电感应器件和计算机。方法包括：将准直光束经上述象散处理器形成第一象散光束，进而在待测样品聚焦后被反射，并再次经过上述象散处理器形成第二象散光束，经分光棱镜反射得到监控光束，并在经聚焦透镜聚焦后由光电感应器件接收，标定监控光束聚焦光斑与待测样品的轴向漂移量的关系并输入计算机用于样品轴向漂移补偿。本发明结构

专利类型：发明专利

专利号：CN201210013620.X

专利申请（专利权）人：浙江大学

专利发明（设计）人：匡翠方;李帅;刘鹏;郦龙;刘旭

主权项：一种基于象散的样品轴向漂移补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)由激光器发出的激光光束经过单模光纤和准直透镜进行准直；(2)经过准直后的光线经过分光棱镜的作用后，分解为第一反射光线和第一透射光线；(3)所述第一透射光线经过由两个焦距相同且横截面相互正交的柱面镜所构成的象散处理器形成第一象散光束；(4)所述第一象散光束通过显微物镜聚焦后投射到置于三维纳米扫描平台上的待测样品之上，经待测样品反射后的光束沿原光路逆向返回，由所述显微物镜收集后，再次经过所述象散处理器形成第二象散光束；(5)第二象散光束经所述

专利地区：浙江