一种双腔准分子激光器的同步控制系统专利登记公告

专利名称：一种双腔准分子激光器的同步控制系统

摘要：本发明公开了一种双腔准分子激光器的同步控制系统，包括有直流电源、充电模块、第一升压模块、第二升压模块、第一磁开关模块、第二磁开关模块和同步控制模块，在同步控制模块中通过对双腔准分子激光器的两腔进行实时取样并反馈信息给单片机，并通过单片机实时调节数字可编程延迟发生器，达到了两腔放电时间间隔<±5ns精度的同步控制，有效地实现了双腔准分子激光器两腔的同步，且本发明中采用多重屏蔽保护，有效地降低了双腔准分子激光器在运行过程中产生的电磁干扰，保证了系统的正常运行。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210015368.6

专利申请（专利权）人：中国科学院安徽光学精密机械研究所

专利发明（设计）人：梁勖;王效顺;鲍健;方晓东

主权项：一种双腔准分子激光器的同步控制系统，包括双腔准分子激光器本体，其特征在于：还包括直流电源、充电模块、第一升压模块、第一磁开关模块、第二升压模块、第二磁开关模块和同步控制模块，所述直流电源给充电模块供电，所述充电模块将电能分两路输出，一路依次经第一升压模块升压、第一磁开关模块脉冲压缩后对双腔准分子激光器的MO腔进行放电激励，另一路依次经第二升压模块升压、第二磁开关模块脉冲压缩后对双腔准分子激光器的PA腔进行放电激励，所述同步控制模块的控制端输出信号至第一、第二升压模块，同步控制模块的信号采集端分别采集双腔准

专利地区：安徽