一种压电-静电复合式微机械振动能量收集器及制造方法专利登记公告

专利名称：一种压电-静电复合式微机械振动能量收集器及制造方法

摘要：一种压电-静电复合式微机械振动能量收集器及制造方法，涉及一种能量收集装置。收集器设有芯片主体和芯片外部电路；主体为三层片状结构，主体设有上玻璃片器件、SOI片器件、下玻璃片器件、压电陶瓷片组、压电陶瓷片电极和可变电容极板电极。外部电路设有整流电路、滤波电容、第一开关、第二开关和能量储存电容；或设有整流电路、滤波电容、第一开关、第二开关、能量储存电容以及可变电容极板启动电源。制造方法如下：下玻璃片器件制作；SOI片器件制作；上玻璃片器件制作；装配；连接芯片外部电路。制备过程较简单、可克服传统的溶胶凝胶制备P

专利类型：发明专利

专利号：CN201210016196.4

专利申请（专利权）人：厦门大学;江苏奥力威传感高科股份有限公司

专利发明（设计）人：伞海生;邓志强;王翔;赵山华

主权项：一种压电?静电复合式微机械振动能量收集器，设有芯片主体和芯片外部电路；所述芯片主体为三层的片状结构，所述芯片主体设有上玻璃片器件、SOI片器件、下玻璃片器件、压电陶瓷片组、压电陶瓷片电极和可变电容极板电极；上玻璃片器件的横截面形状呈倒U字形；SOI片器件的横截面形状呈倒山字形，SOI片器件的中部为质量块，质量块与周壁之间的连接部设有至少2个镂空槽，各镂空槽围绕在质量块周边，并且以质量块为中心呈对称布置；下玻璃片器件的横截面形状呈U字形，上玻璃片器件下端面与SOI片器件上端面通过阳极键合结合，SOI片器件下

专利地区：福建