MEMS质量流量传感器专利登记公告

专利名称：MEMS质量流量传感器

摘要：本发明为一种MEMS质量流量传感器，其特征在于：所述传感器为MEMS流量传感器芯片，所述MEMS流量传感器芯片的组成包括一对压焊块、一对感温元件和一对加热电阻器，所述的压焊块、感温元件和加热电阻器从外向内对称布置在芯片平面内，它们的顶端都连有热电堆，各热电堆之间相互连接，芯片的空余处都覆有不粘纳米涂层。本发明量程范围宽、响应速度快、灵敏度高、功耗低。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210016318.X

专利申请（专利权）人：上海华强浮罗仪表有限公司

专利发明（设计）人：邵思

主权项：一种MEMS质量流量传感器，其特征在于：所述传感器为MEMS流量传感器芯片，所述MEMS流量传感器芯片的组成包括一对压焊块、一对感温元件和一对加热电阻器，所述的压焊块、感温元件和加热电阻器从外向内对称布置在芯片平面内，它们的顶端都连有热电堆，各热电堆之间相互连接，芯片的空余处都覆有不粘纳米涂层。

专利地区：上海