具有折叠扭力弹簧的MEMS传感器专利登记公告

专利名称：具有折叠扭力弹簧的MEMS传感器

摘要：本发明公开了具有折叠扭力弹簧的MEMS传感器。一种微机电系统(MEMS)传感器(40)包括基底(46)和形成在基底(46)的平坦表面(48)上的悬置锚(54)。第一折叠扭力弹簧(58)和第二折叠扭力弹簧(60)使可动部件(56)与悬置到基底(46)之上的可动部件(56)的悬置锚(54)相互连接。折叠扭力弹簧(58，60)每个都由多段(76)形成，该多段由条部件(78)以蛇形连接到一起。折叠扭力弹簧(58，60)具有相同的形状并且在相对于彼此绕悬置锚(54)的重心质心(84)旋转对称的方向上。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210017188.1

专利申请（专利权）人：飞思卡尔半导体公司

专利发明（设计）人：A·C·迈克奈尔;G·G·李

主权项：一种微机电系统MEMS传感器，包括：基底；可动部件，在所述基底的表面之上以间隔开的关系布置；悬置锚，形成在所述基底的所述表面上；第一折叠扭力弹簧，使得所述可动部件与所述悬置锚相互连接；以及第二折叠扭力弹簧，使得所述可动部件与所述悬置锚相互连接，所述第一和第二折叠扭力弹簧具有基本相同的形状，并且所述第二折叠扭力弹簧基本上被取向为相对于所述第一折叠扭力弹簧绕所述悬置锚的质心旋转对称。

专利地区：美国