一种高纯硅溶胶的纯化方法专利登记公告

专利名称：一种高纯硅溶胶的纯化方法

摘要：本发明公开了属于化学机械抛光技术领域的一种高纯硅溶胶的纯化方法。适用于超大规模集成电路化学机械抛光中二氧化硅溶胶的纯化。本发明纯化过程为：将再生后的强酸型阳离子交换树脂和强碱型阴离子交换树脂混合均匀，将待纯化硅溶胶加入到装有强酸强碱混合树脂的容器中并控制温度，搅拌，使待纯化硅溶胶与强酸强碱混合树脂混合均匀，实现动态纯化，在硅溶胶动态纯化过程中加入复合螯合剂和絮凝剂，控制pH为1～5，得到纯化后的硅溶胶。经过提纯后硅溶胶中的金属离子含量已经降低到ppb级，所得高纯硅溶胶可适用于新一代线宽所用基片或芯片抛光液

专利类型：发明专利

专利号：CN201210018145.5

专利申请（专利权）人：深圳市力合材料有限公司;清华大学;深圳清华大学研究院

专利发明（设计）人：顾忠华;高源;龚桦;邹春莉;潘国顺

主权项：一种高纯硅溶胶的纯化方法，其特征在于，该方法步骤如下：(1)将强酸型阳离子交换树脂及强碱型阴离子交换树脂分别进行再生处理；(2)将再生好的强酸型阳离子交换树脂及强碱型阴离子交换树脂按比例混合得强酸强碱混合树脂，并装入带有冷却、加热及搅拌的容器中；(3)将待纯化硅溶胶加入到装有强酸强碱混合树脂的容器中并控制温度，强酸强碱混合树脂与硅溶胶的重量比为1∶(1～100)；(4)打开容器中的搅拌装置，搅拌，使待纯化硅溶胶与强酸强碱混合树脂混合均匀；(5)在步骤(4)动态纯化进行过程中添加复合螯合剂和絮凝剂，控制pH

专利地区：广东