基于MEMS技术的阵列式气味检测元件专利登记公告

专利名称：基于MEMS技术的阵列式气味检测元件

摘要：本发明涉及气敏传感器领域，具体是一种基于MEMS技术的阵列式气味检测元件。解决了现有电子鼻所用气敏传感器阵列中的个体存在响应特性漂移不一致的问题。所述检测元件包括半导体基底，以及在半导体基底上采用MEMS加工工艺加工得到的：气味敏感单元、用以检测气味敏感单元工作温度的感温单元、用以将气味敏感单元加热至所需工作温度的加热单元；所述气味敏感单元包含按照阵列排布的若干气敏型金属氧化物薄膜，且各薄膜为尺寸参数各异的同种气敏型金属氧化物，各薄膜上分别设有两个用于与数据采集设备连接的电极。本发明结构简单，能采用目前发

专利类型：发明专利

专利号：CN201210018690.4

专利申请（专利权）人：中北大学

专利发明（设计）人：谭秋林;熊继军;朱思敏;刘文怡;张文栋;刘俊;薛晨阳;裴向东

主权项：一种基于MEMS技术的阵列式气味检测元件，包括半导体基底（1），以及在半导体基底（1）上采用MEMS加工工艺加工得到的：气味敏感单元、用以检测气味敏感单元工作温度的感温单元（2）、用以将气味敏感单元加热至所需工作温度的加热单元（3）；其特征在于：所述气味敏感单元包含按照阵列排布的若干气敏型金属氧化物薄膜（4），且各薄膜为尺寸参数各异的同种气敏型金属氧化物，各薄膜上分别设有两个用于与数据采集设备连接的电极（5）。

专利地区：山西