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化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备及方法专利登记公告


专利名称:化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备及方法

摘要:本发明针对现有技术中镀制玻璃减反射膜时能源消耗大,定尺玻璃边部厚度偏薄至使玻璃废品率高的不足,提供一种化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备及方法,该设备包括减反射膜原料供料装置、设置有汽化室的减反射膜液相原料汽化装置、废气处理装置、设置有喷嘴及排废气通道的镀膜器以及恒温装置,所述减反射膜原料供料装置与所述汽化装置的汽化室管连通,所述的汽化室与所述镀膜器的喷嘴管连通,所述排废气通道与所述废气处理装置管连通;本发明方法是在玻璃成型后、退火前镀制玻璃减反射膜,采用该设备及方法镀制的玻璃减反射膜膜层质量优秀、能耗

专利类型:发明专利

专利号:CN201210021320.6

专利申请(专利权)人:绥中滨海经济区红杉科技有限公司

专利发明(设计)人:李西平;杨振渤;舒尊启;杜震宇

主权项:一种化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备,其特征在于,包括减反射膜原料供料装置(11)、设置有汽化室的减反射膜液相原料汽化装置(19)、废气处理装置(15)、设置有喷嘴(8)及排废气通道(10)的镀膜器(17)以及恒温装置,所述减反射膜原料供料装置(11)与所述汽化装置(19)的汽化室管连通,所述的汽化室与所述镀膜器(17)的喷嘴(8)管连通,所述排废气通道(10)与所述废气处理装置(15)管连通。

专利地区:辽宁