一种软X射线双频光栅剪切干涉系统专利登记公告

专利名称：一种软X射线双频光栅剪切干涉系统

摘要：本发明提供一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其采用了一种双频光栅作为软X射线剪切干涉元件，利用掠入射条件下，该光栅的两组-1级衍射光束自剪切干涉，对穿过等离子体的X射线激光的波前检测。该剪切干涉仪中采用两个多层膜球面镜的成像系统，能够得到清晰的等离子体边界。本发明将剪切干涉系统成功应用于软X射线波段，利用剪切干涉系统共光程的特点，解决了马赫-曾德尔干涉仪测试系统中等光程的调节困难的问题，为利用剪切法诊断等离子体电子密度提供了关键技术。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210022269.0

专利申请（专利权）人：中国科学技术大学

专利发明（设计）人：刘正坤;邱克强;刘颖;徐向东;付绍军

主权项：一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其特征在于：包括第一块球面成像镜(3)、软X射线双频光栅(4)、第二块球面成像镜(5)，X射线CCD相机(6)和计算机处理系统(7)，其位置关系如下：第一块球面成像镜(3)与被测靶面(2)的距离等于第一块球面成像镜(3)的焦距，入射光与第一块球面成像镜(3)的角度为1.5～3.5°，入射光经过被测等离子体(1)；所述的软X射线双频光栅(4)与第一块球面成像镜(3)之间的距离不限制，探针X射线在光栅表面的入射角度为82～84°之间；入射光经过软X射线双频光栅(4)衍射后，其

专利地区：安徽