一种便携式多功能真空校准系统及方法专利登记公告
专利名称:一种便携式多功能真空校准系统及方法
摘要:本发明涉及一种便携式多功能真空校准系统及方法,属于测量技术领域。校准系统包括机械泵1、分子泵2、第一真空阀门3、第二真空阀门4、第三真空阀门8、第四真空阀门10、第五真空阀门11、第六真空阀门17、第七真空阀门19、第八真空阀门23、第九真空阀门15、校准室5、四极质谱计6、第一小孔9、第二小孔20、微调阀12、气源13、第一真空规14、第二真空规18、第三真空规21、第五真空规24和稳压室16,包括校准真空漏孔的方法和校准真空规的方法。系统复合了真空规和气体微流量校准功能,能够对真空规、真空漏孔、检漏仪
专利类型:发明专利
专利号:CN201210024833.2
专利申请(专利权)人:江苏东方航天校准检测有限公司
专利发明(设计)人:卢耀文
主权项:一种便携式多功能真空校准系统,待校准设备为第四真空规(22)和真空漏孔(7),其特征在于,包括机械泵(1)、分子泵(2)、第一真空阀门(3)、第二真空阀门(4)、第三真空阀门(8)、第四真空阀门(10)、第五真空阀门(11)、第六真空阀门(17)、第七真空阀门(19)、第八真空阀门(23)、第九真空阀门(15)、校准室(5)、四极质谱计(6)、第一小孔(9)、第二小孔(20)、微调阀(12)、气源(13)、第一真空规(14)、第二真空规(18)、第三真空规(21)、第五真空规(24)和稳压室(16),其中
专利地区:江苏
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