一种投影光学系统专利登记公告

专利名称：一种投影光学系统

摘要：一种投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)、第四透镜单元(L4)和第五透镜单元(L5)，所述透镜单元均处于同一光轴，第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力，第五透镜单元(L5)具有正折光力，且所述透镜均为球面。本发明的投影光学系统能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210027757.0

专利申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所

专利发明（设计）人：白瑜;邢廷文;吕保斌;范真节;邓超;张海波

主权项：一种投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)、第四透镜单元(L4)和第五透镜单元(L5)，所述透镜单元均处于同一光轴，其特征在于，第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力，第五透镜单元(L5)具有正折光力，且所述透镜均为球面。

专利地区：四川