无耦合运动的二维微位移工作台专利登记公告

专利名称：无耦合运动的二维微位移工作台

摘要：无耦合运动的二维微位移工作台，包括：基板、外层柔性铰链杆、驱动支座、电致伸缩器件、内层柔性铰链杆、工作台，四组沿X、Y方向对称分布的内层柔性铰链杆一端连接工作台，另一端连接驱动支座，驱动支座通过外层柔性铰链杆连接到基板上，驱动支座中间设有电致伸缩器件，电致伸缩器件一端顶紧工作台的凸缘，另一端顶在驱动支座上。本发明采用双层柔性铰链杆对称结构一体化设计，整体采用线切割加工方法一次切割完成，无装配元件，可实现输出位移与输入位移成正比的独立、无耦合一维或者二维运动，具有无耦合、分辨率高、结构紧凑的特点，可应用于微

专利类型：发明专利

专利号：CN201210030194.0

专利申请（专利权）人：合肥工业大学

专利发明（设计）人：沈健;俞涛;张海岩;陈东;任兴亮

主权项：无耦合运动的二维微位移工作台，包括：基板(1)、外层柔性铰链杆(2)、驱动支座(3)、电致伸缩器件(4)、内层柔性铰链杆(5)、工作台(6)，所述工作台(6)沿X、Y方向对称分布有四个工作台凸缘(7)；所述驱动支座(3)用于连接基板(1)与工作台(6)，包括一个驱动支座跨梁(9)和位于支座跨梁两侧的驱动支座侧板(8)，驱动支座(3)通过外层柔性铰链杆(2)与基板(1)连接，通过内层柔性铰链杆(5)与工作台连接，所述内层柔性铰链杆(5)一端连接驱动支座侧板(8)，另一端连接工作台凸缘；所述电致伸缩器件(4)

专利地区：安徽