识别化学机械研磨设备的研磨性能的方法专利登记公告

专利名称：识别化学机械研磨设备的研磨性能的方法

摘要：根据本发明的识别化学机械研磨设备的研磨性能的方法包括：为研磨垫提供U型细磨垫；使修整部件仅仅沿固定修整方向在所述U型细磨垫上进行修整；测试U型缓冲垫的弯曲部分的抗弯强度；以及根据U型缓冲垫的弯曲部分的抗弯强度判断化学机械研磨设备的研磨性能。所述测试U型缓冲垫的弯曲部分的抗弯强度的步骤包括：在所述U型细磨垫的弯曲部分上放置测量重块，该测量重块W的重量已知；测量所述U型细磨垫的弯曲部分的长度、以及所述U型细磨垫由于所述测量重块的重量而下压的深度；以及根据所述长度以及所述深度计算U型缓冲垫的弯曲部分的抗弯强度。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210030428.1

专利申请（专利权）人：上海宏力半导体制造有限公司

专利发明（设计）人：李协吉;张泽松;程君;李志国

主权项：一种识别化学机械研磨设备的研磨性能的方法，其特征在于包括：为研磨垫提供U型细磨垫；使修整部件仅仅沿固定修整方向在所述U型细磨垫上进行修整；测试U型缓冲垫的弯曲部分的抗弯强度；以及根据U型缓冲垫的弯曲部分的抗弯强度判断化学机械研磨设备的研磨性能。

专利地区：上海