一种基于单类支持向量机的半导体过程监测方法专利登记公告

专利名称：一种基于单类支持向量机的半导体过程监测方法

摘要：本发明公开了一种基于单类支持向量机的半导体过程监测方法，本发明采用单类支持向量机方法，利用其优越的单类数据分类性能，对半导体过程进行监测。相比目前的其它方法，本发明方法不仅可以大大提高半导体过程的监测效果，而且在很大程度上降低了半导体过程监测的复杂性，更加有利于半导体过程的工业自动化。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210032489.1

专利申请（专利权）人：浙江大学

专利发明（设计）人：葛志强;宋执环

主权项：一种基于单类支持向量机的半导体过程监测方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）利用集散控制系统收集半导体过程各个正常工况的数据组成建模用的三维训练样本集：????????????????????????????????????????????????；其中，为对应于过程工况的数据矩阵，为该工况下的批次数目，为变量个数，为每个批次的采样数据点数，为总的样本个数；分别将这些数据存入历史数据库；（2）将不同工况下的数据沿着各自的批次方向展开为二维数据矩阵，对其进行预处理和归一化，即使得各个过程变量的均值为零，方差

专利地区：浙江