一种丙烯酸正性光刻胶及其制备方法专利登记公告

专利名称：一种丙烯酸正性光刻胶及其制备方法

摘要：本发明公开了一种丙烯酸正性光刻胶及其制备方法，是在无尘、黄光条件下，按聚丙烯酸树脂5～30wt%，光致酸发生剂1～20wt%，含有多个羟基的酯5～40wt%，丙二醇甲醚醋酸酯30～60wt%的重量百分比，包括以下步骤制备：（1）向丙二醇甲醚醋酸酯中加入含有多个羟基的酯；（2）将步骤（1）的物质搅拌6～10个小时形成混合溶液；（3）向所述混合溶液中加入聚丙烯酸树脂、光致酸发生剂；（4）将（3）得到的组合物搅拌20～30小时，得到所述丙烯酸正性光刻胶。根据本发明配制的丙烯酸正性光刻胶具有衍射作用小、分辨率及灵

专利类型：发明专利

专利号：CN201210033673.8

专利申请（专利权）人：潍坊星泰克微电子材料有限公司

专利发明（设计）人：张盼;杨光;孙越

主权项：?一种丙烯酸正性光刻胶，其特征在于：所述正性光刻胶由包括以下重量百分比的原料制备而成：聚丙烯酸树脂???????????????????5～30wt%，??????????????光致酸发生剂???????????????????1～20wt%，含有多个羟基的酯???????????????5～40wt%，丙二醇甲醚醋酸酯???????????????30～60wt%。

专利地区：山东