MEMS建模系统及方法专利登记公告

专利名称：MEMS建模系统及方法

摘要：本发明公开了一种对微机电器件进行建模的系统和方法。一个实施例包括将微机电设计分成独立的区域，并且将该独立的区域分别进行建模。可以在独立的模型中使用参数化参数或者参数方程。上述独立的模型可以结合到MEMS器件模型中。可以对该MEMS器件模型进行测试和校准，然后，该MEMS器件可以用于对微机电器件的新设计进行建模。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210034332.2

专利申请（专利权）人：台湾积体电路制造股份有限公司

专利发明（设计）人：陈东村;彭永州;黄睿政

主权项：一种对微机电器件进行建模的方法，所述方法包括：将MEMS设计分成多个区域，所述多个区域中的至少一个区域与所述多个区域中的另一区域位于相互独立的虚拟层中；为所述多个区域中的每个区域建立模型；以及将所述多个区域中的每个区域的模型加入到MEMS模型中。

专利地区：台湾