一种测多维力的压电石英晶组及制作方法专利登记公告

专利名称：一种测多维力的压电石英晶组及制作方法

摘要：本发明一种测多维力的压电石英晶组及制作方法，属于压电式传感器领域，涉及在多维力作用下，石英晶片面域电荷分布规律制作多维力测量的压电式石英晶组。压电石英晶组由X0切型的石英单元晶组、第一个、第二个Y0切型的石英单元晶组以及两片接地电极构成。压电石英晶组利用两片X0切型的石英晶片在法向力、除法向转矩外的另外两个转矩的作用下产生耦合感生电荷的方法，采用多电极布置、多区域电荷输出叠加的解耦方法，实现三个力或力矩的测量；再利用四片Y0切型的石英晶片实现两个切向力和法向转矩的测量，实现了空间六维力的测量。该制作方法简

专利类型：发明专利

专利号：CN201210037429.9

专利申请（专利权）人：大连理工大学

专利发明（设计）人：贾振元;任宗金;刘巍;王福吉

主权项：一种测多维力的压电石英晶组，其特征是，压电石英晶组由X0切型的石英单元晶组(3)、第一个Y0切型的石英单元晶组(1)、第二个Y0切型的石英单元晶组(2)以及第一、第二两片接地电极(4)构成；其中，X0切型的石英单元晶组(3)由X0切型的第一、第二石英晶片(51、52)和四片相同形状的X0引出电极(6)组成；第一个Y0切型的石英单元晶组(1)由Y0切型的第一、第二石英晶片(71、72)和一片Y0整体引出电极(8)组成；第二个Y0切型的石英单元晶组(2)由Y0切型的第三、第四石英晶片(73、74)和两片形状相

专利地区：辽宁