一种氧传感器片芯及其制造方法专利登记公告

专利名称：一种氧传感器片芯及其制造方法

摘要：一种氧传感器片芯及其制造方法。其片芯依次为电极梯度保护层，第1信号电极层，传感介质层，第2信号电极层，气室层，第1梯度绝缘层，加热电极层，第2梯度绝缘层、基板层和底部绝缘层；电极梯度保护层、第1、第2梯度绝缘层和底部绝缘层均为三层结构，三层材料组成呈梯度，防止异质导致收缩率和熔融性能差异，确保层间结合致密；传感介质层为改性钇掺杂氧化锆，提高了材料信号灵敏度和力学强度；加热层为传统平板传感器加热电极结构，各层采用流延成型和丝网印刷相结合方式，依次定位、叠压和切割，制成氧传感器片芯胚体；片芯胚体中有机物在低温

专利类型：发明专利

专利号：CN201210038192.6

专利申请（专利权）人：曾咏平;尧中华

专利发明（设计）人：曾咏平;尧中华

主权项：一种氧传感器片芯，其特征在于：它由电极梯度保护层(1)，第1信号电极层(2)，传感介质层(3)，第2信号电极层(4)，气室层(5)，第1梯度绝缘层(6)，加热电路层(7)，第2梯度绝缘层(8)、基板层(9)和底部绝缘层(10)依次相叠构成；所述的电极梯度保护层为三层结构，三层材料组成呈梯度，各层材料包括氧化锆粉和镁铝尖晶石粉，单层厚度10～150μm，其中第一保护层(1?1)在第1信号电极层(2)上；所述的第1梯度绝缘层、第2梯度绝缘层和底部绝缘层均为三层结构，三层材料组成呈梯度，它们的第一绝缘层、第二绝

专利地区：湖北