一种硅棒表面处理方法专利登记公告

专利名称：一种硅棒表面处理方法

摘要：一种涉及硅棒表面处理技术的硅棒表面处理方法，所述的方法为：使用1.5～4.5kg压力的气压喷枪将800～1500目的微粒物质由30～75度角均匀的喷射到硅棒表面，喷射时间为15～45分钟；采用所述的方法即能有效控制硅棒表面损伤层的深度，又能获得平整度较高的硅棒表面。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210042285.6

专利申请（专利权）人：上海超日（洛阳）太阳能有限公司

专利发明（设计）人：姚小威;高晓舵;张泰运;张杨;刘永生;吴剑枢;王党卫

主权项：一种硅棒表面处理方法，其特征是：所述的方法为：使用1.5～4.5kg压力的气压喷枪将800～1500目的微粒物质由30～75度角均匀的喷射到硅棒表面，喷射时间为15～45分钟；所述微粒物质的硬度大于硅的硬度。

专利地区：河南