采用绒面光滑圆整技术的异质结太阳电池清洗制绒方法专利登记公告

专利名称：采用绒面光滑圆整技术的异质结太阳电池清洗制绒方法

摘要：本发明涉及一种采用绒面光滑圆整技术的异质结太阳电池清洗制绒方法，包括：首先通过对高质量硅片在碱性环境下预清洗，经碱性腐蚀去锯齿后，进行表面金字塔结构化学制绒，再二次清洗之后使用RSS技术做绒面结构光滑圆整，之后在酸性环境下清洗，最后去氧化层腐蚀之后烘干干燥。本发明解决了由于等离子体尖端放电等不利因素导致的非晶硅薄膜沉积不均匀的问题，同时适用于大面积太阳电池生产，这为大规模生产高效HIT电池提供了重要参考，在光伏制造领域有着巨大意义。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210042842.4

专利申请（专利权）人：上海中智光纤通讯有限公司

专利发明（设计）人：华夏;李媛媛;彭铮;王巍;李正平;沈文忠;彭德香;温超

主权项：一种采用绒面光滑圆整技术的异质结太阳电池清洗制绒方法，包括：(1)将硅片放入体积比为1∶1∶5?1∶1∶10的氨水、双氧水和去离子水中，在45?85℃下清洗1?10分钟后取出，完成硅片的初步清洗，之后常温下去离子水洗；(2)将上述初步清洗的硅片浸入体积比为1∶2?1∶10的氢氧化钾溶液和去离子水中，在45?85℃下腐蚀20?120秒后取出，去除锯齿毛边，之后常温下去离子水洗；(3)将上述去锯齿后的硅片浸入体积比为3∶3∶1∶5?3∶3∶1∶10的碱性溶液、二甲基丙醇、添加剂和去离子水中，在45?85℃下腐

专利地区：上海