贯通孔形成方法、喷嘴板以及MEMS器件专利登记公告

专利名称：贯通孔形成方法、喷嘴板以及MEMS器件

摘要：本发明提供一种贯通孔形成方法、喷嘴板以及MEMS器件。在该贯通孔形成方法中，具备对于具有第一基板面、以及作为所述第一基板面的背面的第二基板面的基板，在所述第一基板面上形成多个小孔的工序；对所述小孔与相邻的其它所述小孔之间的隔壁、以及所述小孔的底部进行热氧化而形成热氧化膜的工序；以及将所述热氧化膜除去的工序。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210050323.2

专利申请（专利权）人：精工爱普生株式会社

专利发明（设计）人：白木美穗;竹内淳一

主权项：一种贯通孔形成方法，其特征在于，具备：第一孔形成工序，在该第一孔形成工序中，对于具有第一基板面、以及与该第一基板面相对的第二基板面的基板，通过在所述第一基板面上连续相接地形成多个小孔、且通过蚀刻来刻成所述小孔，以此形成第一孔；热氧化膜形成工序，在该热氧化膜形成工序中，对作为所述小孔与所述小孔之间的隔壁的所述基板、以及作为所述小孔的底部的所述基板进行热氧化，并在所述基板上形成热氧化膜；以及除去工序，在该除去工序中，将热氧化后的所述隔壁和所述底部、以及在所述基板上形成的热氧化膜除去。

专利地区：日本