表面波等离子体产生用天线及表面波等离子体处理装置专利登记公告
专利名称：表面波等离子体产生用天线及表面波等离子体处理装置
摘要：本发明涉及表面波等离子体产生用天线及表面波等离子体处理装置。该表面波等离子体产生用天线用于将从微波输出部通过由外侧导体与内侧导体构成的同轴状的波导传输来的微波放射到腔室内，在腔室内产生表面波等离子体，该表面波等离子体产生用天线呈平面状，并且多个缝隙形成为圆周状，并且，在圆周方向上邻接的缝隙与缝隙的相接部分处，这些缝隙在径向上重叠，其相接部分呈被缝隙包围的状态。
专利类型：发明专利
专利号：CN201210050402.3
专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社
专利发明（设计）人：池田太郎;河西繁;长田勇辉
主权项：一种表面波等离子体产生用天线，其将从微波输出部通过由外侧导体与内侧导体构成的同轴状的波导传输来的微波放射到腔室内，在腔室内产生表面波等离子体，其特征在于，该表面波等离子体产生用天线呈平面状，并且多个缝隙被形成为圆周状，并且在圆周方向上邻接的缝隙与缝隙的相接部分被缝隙包围。
专利地区：日本
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