一种化学机械抛光传输机器人系统专利登记公告

专利名称：一种化学机械抛光传输机器人系统

摘要：本发明提出一种化学机械抛光传输机器人系统，包括：执行机构包括机器人本体和支撑装置，机器人本体包括爪、手爪翻转机构、小臂体、大臂体和套筒，支撑装置包括：直线导轨滑台和导轨丝杠；检测器用于检测执行机构的工作状态参数以生成检测信息；控制装置用于控制手爪的运动位移和运动角度，包括：上位控制器、主控制器、运动控制器、伺服驱动器、电机和编码器，上位机控制器用于接收用户输入的操作指令；编码器用于检测相应的电机的状态信息；主控制器用于生成执行机构的运动指令，运动控制器用于按照预设控制算法计算电机控制量；伺服驱动器用于计算

专利类型：发明专利

专利号：CN201210050639.1

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：路新春;赵建伟;何永勇;周顺;沈攀;许振杰

主权项：一种化学机械抛光传输机器人系统，其特征在于，包括：执行机构，所述执行机构包括机器人本体和支撑装置，其中所述机器人本体包括：手爪，所述手爪用于取放晶圆；手爪翻转机构，所述手爪翻转机构与所述手抓相连用于驱动所述手爪翻转；小臂体，所述小臂体与所述手爪相连用于带动所述手爪旋转；大臂体，所述大臂体与所述小臂体相连用于带动所述小臂体旋转；和套筒，所述套筒用于支撑所述大臂体且驱动大臂体旋转；其中所述支撑装置包括：直线导轨滑台，所述直线导轨滑台用于支撑所述机器人本体；和导轨丝杠，所述导轨丝杠设在所述直线导轨滑台上且与所述

专利地区：北京