化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统专利登记公告

专利名称：化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统

摘要：本发明公开了一种化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统，包括：上位机控制器、主控制器、运动控制器、检测器、多个伺服驱动器、多个电机和编码器，其中，检测器用于检测传输机器人的工作状态参数以生成检测信息；上位机控制器用于接收用户输入的操作指令；编码器用于检测传输机器人的当前运动位移和当前运动角度；主控制器用于根据操作指令和运动控制器发送的检测信息生成传输机器人的运动指令，运动控制器用于以递归LQ优化控制模式计算电机控制量；多个伺服驱动器，每个伺服驱动器用于根据相应的电机控制量计算相应电机的控制转矩；多个电机

专利类型：发明专利

专利号：CN201210050640.4

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：路新春;赵建伟;何永勇

主权项：一种化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统，其特征在于，包括：上位机控制器、主控制器、运动控制器、检测器、多个伺服驱动器、多个电机和编码器，其中，所述检测器用于检测传输机器人的工作状态参数以生成检测信息；所述上位机控制器用于接收用户输入的操作指令；所述编码器分别与所述运动控制器和多个所述电机相连，用于检测所述传输机器人的当前运动位移和当前运动角度；所述主控制器分别于所述上位机控制器和所述运动控制器相连，用于根据所述操作指令和所述运动控制器发送的检测信息生成传输机器人的运动指令，并将所述运动指令发送给所述

专利地区：北京