半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法专利登记公告

专利名称：半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法

摘要：一种半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法，参数测试仪器至少包括第一测试探针、第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针，测试仪器可以通过测试探针提供设定值大小的电流、电压或测量测试点的电压、电流，所述方法为把四个测试探针共同放在同一测试金属块上，然后进行以下两个步骤：设置第一测试探针提供第一电流、第一电压，第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针分别设定电压为零，同时测试电流；设置第一测试探针提供第二电流、第二电压，第二测试探针设定电流为零并测试电压，第三测试探针和第四测试探针提供设定电压为零，同时测

专利类型：发明专利

专利号：CN201210052007.9

专利申请（专利权）人：上海宏力半导体制造有限公司

专利发明（设计）人：范象泉

主权项：一种半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法，所述参数测试仪器至少包括四个测试探针，分别为第一测试探针、第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针，所述参数测试仪器可以通过测试探针提供设定值大小的电流、电压，并可以通过测试探针测量测试点的电压、电流，其特征在于，所述电阻测试方法包括：把四个测试探针共同放在同一测试金属块上，然后进行以下两个步骤：设置第一测试探针提供第一电流、第一电压，第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针分别设定电压为零，同时测试电流；设置第一测试探针提供第二电流、第二电压，第二测试探针

专利地区：上海