基板搬送装置的位置调整方法以及基板处理装置专利登记公告

专利名称：基板搬送装置的位置调整方法以及基板处理装置

摘要：本发明提供不使用调整夹具就能够进行搬送位置调整的基板搬送装置的位置调整方法。本发明提供基板搬送装置的位置调整方法，其包括：第一检测步骤，利用搬送基板的基板搬送部保持基板，检测基板的位置；将由基板搬送部保持的基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤；利用基板旋转部使由基板旋转部保持的基板仅仅旋转规定的角度的步骤；从基板搬送部接收被基板旋转部旋转的基板的步骤；第二检测步骤，检测基板搬送部接收的该基板的位置；基于在第一检测步骤求出的基板的位置和在第二检测步骤求出的基板的位置，掌握基板旋转部的旋转中心位置的步骤

专利类型：发明专利

专利号：CN201210052118.X

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：道木裕一;林德太郎;饭田成昭;榎木田卓

主权项：一种基板搬送装置的位置调整方法，其特征在于，包括：第一检测步骤，利用基板搬送装置的基板保持部保持基板，并对该基板的第一位置进行检测；将由所述基板保持部保持的所述基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤；通过所述基板旋转部使保持于所述基板旋转部的所述基板仅旋转规定角度的步骤；从所述基板旋转部接收被所述基板旋转部旋转后的所述基板的步骤；第二检测步骤，对所述基板保持部接收的该基板的第二位置进行检测；根据所述第一位置和所述第二位置，掌握所述基板旋转部的旋转中心位置的步骤；和根据所述掌握的所述旋转中心位置，对所述

专利地区：日本