一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备及其生产方法专利登记公告

专利名称：一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备及其生产方法

摘要：本发明提供了一种一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其包括依次设置并一体连接形成整体生产设备的一次清洗装置、第一组镀膜室、一次刻线装置、二次清洗装置、第二组镀膜室、硒化装置、二次刻线装置、三次清洗装置、第三组镀膜室。另外，还提供一种一体化CIGS薄膜太阳能电池生产方法。采用本发明的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备及生产方法，提高生产CIGS薄膜太阳能电池的性能的同时提高生产效率，降低生产成本。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210052397.X

专利申请（专利权）人：江苏宇天港玻新材料有限公司

专利发明（设计）人：王进东

主权项：一种一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，包括依次设置并一体连接形成整体生产设备的一次清洗装置、第一组镀膜室、一次刻线装置、二次清洗装置、第二组镀膜室、硒化装置、二次刻线装置、三次清洗装置、第三组镀膜室。

专利地区：江苏