大功率密度的磁控溅射阴极专利登记公告

专利名称：大功率密度的磁控溅射阴极

摘要：本发明涉及一种真空镀膜领域的磁控溅射阴极，具体说是一种大功率密度的磁控溅射阴极，包括阴极主体，以及与阴极主体连接的同轴电缆，还包括安装在阴极主体上部的靶材，以及位于阴极主体下方的磁路系统，其特征在于；还包括一个阳极罩，所述阴极主体上开设进水槽和出水槽，并与靶材之间设有防水板，进水槽与出水槽的下方分别形成进水口和出水口，阴极主体的下方还有绝缘体，绝缘体的下方通过底板固定于阳极罩内，所述的阳极罩上方设有气路板，以及用于引入冷却水的铜管。本发明同现有技术相比，改善磁控溅射阴极性能，增加磁控溅射阴极的功率密度和提

专利类型：发明专利

专利号：CN201210053887.1

专利申请（专利权）人：上海福宜新能源科技有限公司

专利发明（设计）人：王正安;谭新;郑战伟;钱鹏亮;李杰;韩子水

主权项：一种大功率密度的磁控溅射阴极，包括阴极主体，以及与阴极主体连接的同轴电缆，还包括安装在阴极主体上部的靶材，以及位于阴极主体下方的磁路系统，其特征在于；还包括一个阳极罩，所述阴极主体上开设进水槽和出水槽，并与靶材之间设有防水板，进水槽与出水槽的下方分别形成进水口和出水口，阴极主体的下方还设有绝缘体，并在绝缘体的下方通过底板固定于阳极罩内，所述的阳极罩上方设有气路板，以及用于引入冷却水的铜管。

专利地区：上海