分离方法以及分离装置专利登记公告

专利名称：分离方法以及分离装置

摘要：本发明提供一种分离方法以及分离装置，其能够从至少含有氢氟酸、氟氢化铵、硅以及水的混酸中，简单地分离出高纯度的氢氟酸。所述分离方法从至少含有氢氟酸、氟氢化铵、硅以及水的混酸(100)中分离出氢氟酸，其包括：第一蒸馏工序，通过对混酸(100)进行蒸馏，从而对含有氢氟酸以及水的馏出液(200)进行回收，并回收包含氟氢化铵以及硅的残留液(500)；第二蒸馏工序，通过对馏出液(200)进行蒸馏，从而从馏出液(200)中主要分离出水，进而回收与馏出液(200)相比氢氟酸的浓度较高的残留液(600)。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210054230.7

专利申请（专利权）人：精工爱普生株式会社

专利发明（设计）人：山本秀树

主权项：一种分离方法，其特征在于，从至少含有氢氟酸、氟氢化铵、硅以及水的混酸中分离出所述氢氟酸，其包括：第一蒸馏工序，通过对所述混酸进行蒸馏，从而回收含有所述氢氟酸以及水的第一液体以作为馏出液，并回收含有所述氟氢化铵以及所述硅的第二液体以作为残留液；第二蒸馏工序，通过对所述第一液体进行蒸馏，从而从所述第一液体中主要分离出所述水，进而回收与所述第一液体相比所述氢氟酸的浓度较高的第三液体以作为残留液。

专利地区：日本