气体减压供给装置、具有该气体减压供给装置的气瓶柜、阀箱以及基板处理装置专利登记公告

专利名称：气体减压供给装置、具有该气体减压供给装置的气瓶柜、阀箱以及基板处理装置

摘要：本发明提供气体减压供给装置、具有该气体减压供给装置的气瓶柜、阀箱以及基板处理装置。该气体减压供给装置能够向以低于大气压的处理压力进行处理的腔室供给气体，其包括：压力调整器，其用于对一次压力进行减压并将二次压力调整成比大气压低且比处理压力高的压力；压力测量器，其用于对压力调整器的二次侧配管内的压力进行测量；第1开闭阀，其设于二次侧配管；开闭阀控制器，其用于使第1开闭阀进行开闭；压力比较器，其用于对由压力测量器测量的二次侧配管内的压力与第1设定压力进行比较；以及控制部，在由压力比较器判定为二次侧配管内的压力为

专利类型：发明专利

专利号：CN201210054278.8

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：冈部庸之

主权项：一种气体减压供给装置，其用于向以低于大气压的处理压力进行处理的腔室供给气体，其包括：压力调整器，其用于对一次压力进行减压并将二次压力调整成比大气压低且比上述处理压力高的压力；压力测量器，其用于对上述压力调整器的二次侧配管内的压力进行测量；第1开闭阀，其设于上述二次侧配管；开闭阀控制器，其用于使上述第1开闭阀进行开闭；压力比较器，其用于对由上述压力测量器测量的二次侧配管内的压力与比上述处理压力高出规定的压力的第1设定压力进行比较；控制部，在由上述压力比较器判定为上述二次侧配管内的压力为上述第1设定压力以下的

专利地区：日本