一种高精度微位移测量装置及方法专利登记公告

专利名称：一种高精度微位移测量装置及方法

摘要：本发明公开了一种高精度微位移测量装置，包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源和光栅，所述的光栅沿光轴方向可滑动的安装在外壳内，还设有压电陶瓷部件，该压电陶瓷部件一侧与所述的光栅的表面相贴合，另一侧与外壳相对固定，通过控制压电陶瓷部件的自身形变量来调整光栅和待测物之间间距，使在该间距附近，通过光栅直接反射的光束和经待测物反射面反射的光束干涉得到的各个级次方向上的光强变化速率达到最大，使得待测物的微小位移量可以通过光强变化量得到放大，本发明相对现有微位移传感器提高了测量精度。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210056348.3

专利申请（专利权）人：浙江大学

专利发明（设计）人：侯昌伦

主权项：一种高精度微位移测量装置，包括外壳(6)，外壳(6)内设有沿光路依次布置的光源(3)和光栅(4)，其特征在于：所述的光栅(4)沿光轴方向可滑动的安装在外壳(6)内，还设有压电陶瓷部件(7)，该压电陶瓷部件(7)一侧与所述的光栅(4)的表面相贴合，另一侧与外壳(6)相对固定。

专利地区：浙江