一种基于双层金属的低损耗表面等离子激元光波导专利登记公告

专利名称：一种基于双层金属的低损耗表面等离子激元光波导

摘要：本发明公开了一种基于双层金属的混合型表面等离子激元光波导，该波导结构的横截面包括基底层(1)、位于基底层上的金属层(2)、位于金属层(2)上的低折射率介质层(3)、嵌于低折射率介质层(3)中的高折射率介质区域(4)、位于低折射率介质层(4)上的金属层(5)以及包层(6)。高折射率介质区域(4)与其邻近的两个金属层(2、5)之间的耦合使得光场能被显著地限制在低折射率介质层(3)和高折射率介质区域(4)中，同时较低的传输损耗。所述光波导与现有加工工艺相匹配，可用于构建各类无源光子器件，此外，波导中基底层上金属

专利类型：发明专利

专利号：CN201210057132.9

专利申请（专利权）人：北京航空航天大学

专利发明（设计）人：郑铮;卞宇生;赵欣;苏亚林;刘磊;刘建胜

主权项：一种基于双层金属的低损耗表面等离子激元光波导，其横截面包括基底层、位于基底层上的金属层、位于金属层上的低折射率介质层、嵌于低折射率介质层中的高折射率介质区域、位于低折射率介质层上的金属层以及包层；其中，位于基底层上的金属层、低折射率介质层以及位于低折射率介质层上的金属层的宽度相等且为所传输的光信号的波长的0.09?0.5倍，位于基底层上的金属层的高度和位于低折射率介质层上的金属层的高度为所传输的光信号的波长的0.006?0.13倍；低折射率介质层的高度为所传输的光信号的波长的0.009?0.3倍；嵌于低折

专利地区：北京