防泄漏保护系统专利登记公告
专利名称:防泄漏保护系统
摘要:本发明提供一种防泄漏保护系统,包括真空泵,真空泵分别通过旁路通阀和泵主阀连接多晶炉,管路支路一端与真空泵连接,管路支路另一端分别与两根滑动螺杆连接,起到防泄漏的作用。多晶炉还配合设置隔热门板,隔热门板与滑动螺杆之间设置密封圈,防止空气从隔热门板与滑动螺杆之间进入炉体。防泄漏保压系统通过两种抽真空渠道使多晶炉的密封性得到了双保险,更好地确保多晶炉的生产品质。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210057323.5
专利申请(专利权)人:浙江宏业新能源有限公司
专利发明(设计)人:颜卫兵;沈理
主权项:防泄漏保护系统,包括真空泵(1),其特征在于,真空泵(1)分别通过旁路通阀(2)和泵主阀(3)连接多晶炉(6),管路支路(4)一端与真空泵(1)连接,管路支路(4)另一端分别与两根滑动螺杆(5)连接。
专利地区:浙江
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