振动微机械角速度传感器专利登记公告

专利名称：振动微机械角速度传感器

摘要：本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器中，质量块支撑于传感器的框架处。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210058927.1

专利申请（专利权）人：VTI技术有限公司

专利发明（设计）人：彼得里·克莱默提;凯萨·内拉;安蒂·利普萨内恩;安斯·布卢姆奎斯特;阿尔蒂·托尔克里

主权项：一种振动微机械角速度传感器，其包括：至少一个测震质量块；和相关联的活动电极，其中，所述至少一个测震质量块具有必须被激发的主运动，并且不仅具有所述主运动，还具有与基本垂直于所述主运动的一个或多个检测轴相关的至少一个自由度，并且所述至少一个质量块借助于弹性结构支撑于所述传感器的框架处，由所述传感器导致的正交信号通过机械信号被调节至期望的大小。

专利地区：芬兰